comparado com tradicional dois-líquidos Pulverização, pulverização ultra-sônica tem as vantagens da alta uniformidade de revestimento, alta utilização de matérias-primas, alta precisão de controle de espessura de revestimento, espessura de revestimento mais fino, menos respingo, sem entupimento de bicos e baixa manutenção Custos. comparado com a evaporação a vácuo, CVD E outros processos de revestimento, a pulverização ultra-sônica é um processo de revestimento de filme fino mais econômico, especialmente para a maior área de filme Preparação. O custo do equipamento de pulverização ultra-sônico é muito menor do que o de revestimento a vácuo Equipamento. Vamos introduzir brevemente estes Principais vantagens de ultra-som pulverização.

uniformidade de alto revestimento

A uniformidade da distribuição de partículas líquidas após ser atomizado pelo bocal ultrassônico é significativamente maior do que o do dois fluidos Bocal, também conhecido como a pistola de pulverização de ar, de modo que a uniformidade do revestimento após a pulverização do bico ultra-sônico também é significativamente melhorada. Geralmente, a uniformidade do revestimento de pulverização ultra-sônico pode chegar mais 95%.

2. Alta utilização de matérias-primas e menos respingo

Porque A pulverização ultra-sônica é a atomização líquida por vibração ultra-sônica, o revestimento não é atomizado durante O processo de atomização, isto é, o processo de atomização não requer pressão, e apenas uma pressão de gás de transportadora muito baixa é aplicada após a atomização para transportar o líquido névoa. Reduz bastante o salto líquido e o respingo causado pelo ar de alta pressão pulverizado por dois fluidos, melhorando grandemente a taxa de utilização do revestimento A taxa de utilização de matérias-primas de pulverização ultra-sônica é mais do que 4 vezes a de pulverização de ar comum, e a taxa de utilização pode chegar mais do que 90%.

3. Precisão de controle de espessura de alto revestimento

O principal fator que afeta a precisão da espessura do revestimento é a taxa de fluxo de pulverização do revestimento, ou seja, a quantidade de material realizado no substrato por unidade Tempo. A cabeça de pulverização ultra-sônica não tem pressão sobre o líquido, para que possa controlar completamente o fluxo de líquido do revestimento de pulverização atomizado por uma alta precisão bomba de medição, conseguindo assim alta precisão fluxo de pulverização Controle. como uma alta precisão Bomba de seringa, sua precisão de controle de fluxo pode atingir o nível de Picoliters por segundo, e o micro-canal O design do bocal ultrassônico também pode alcançar a precisão geral do controle de nanolitros por Segundo.

4. espessura fina de revestimento pode atingir dezenas de nanômetros

Porque O volume de pulverização da cabeça de pulverização ultra-sônica pode alcançar uma caudal estável muito baixo (0,001 ml / min), ele pode obter um pequeno valor de upload muito pequeno no substrato, incluindo assim um filme seco muito fino. Para . Alguns nanomateriais, a espessura da película seca pode ser tão baixa quanto as dezenas de nanômetros. Pode ser usado para preparar filmes finos de vidro, como filme condutor transparente, anti-reflexo anti-reflexão filme, Shielding filme e hidrofóbico filme.

5. Nenhum entupimento de bicos e baixo custo de manutenção

Porque O bico ultra-sônico é um líquido atomizado por oscilação ultra-sônica, e as partículas atomizadas são determinadas pela frequência de oscilação ultra-sônica, é diferente do dois fluidos bico. O diâmetro do bocal não precisa ser muito pequeno para alcançar partículas atomizadas finas, por isso reduz o risco de bocal entupimento.